สารกึ่งตัวนำ

ซีรี่ส์ SMARTDAC + GX บันทึกอุณหภูมิห้องความชื้นความดันบรรยากาศช่องเปิดและปิดประตู ฯลฯ

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สภาพแวดล้อมของห้องปลอดเชื้อที่บกพร่องอาจทำให้เกิดข้อบกพร่องและสิ้นเปลืองทรัพยากรทำให้ห้องสะอาดที่มีการควบคุมอย่างเข้มงวดเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ การรักษาสภาพแวดล้อมในห้องสะอาดจำเป็นต้องมีการควบคุมตัวกรองอากาศระบบ HVAC อุณหภูมิห้องความชื้นอนุภาคในอากาศและปัจจัยอื่น ๆ

จะเป็นอย่างไรหากคุณสามารถตรวจพบสัญญาณความผิดปกติในท่อขนส่ง (บัสบาร์) ได้อย่างรวดเร็วระหว่างการบำรุงรักษาและการตรวจสอบ และตอบสนองต่อสิ่งเหล่านั้นในเวลาที่เหมาะสมได้ โซลูชันการตรวจสอบ โยโกกาวา DTSX จะตรวจสอบการเชื่อมต่อที่มีแนวโน้มที่จะเสื่อมสภาพเมื่อเวลาผ่านไปอย่างต่อเนื่อง และมีส่วนช่วยโดยการระบุตำแหน่งที่ผิดปกติและลดภาระงานของเจ้าหน้าที่บำรุงรักษา ช่วยให้มั่นใจในเสถียรภาพในการดำเนินงานของโรงงาน